中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)成立于1964年5月,是我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所。发展至今,已形成以探索现代光学重大基础及应用基础前沿、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。研究...
截至2023年12月,上海光机所在职职工1042人(其中高级专业技术人员530人),博士后114人。包括:两院院士7人(其中发展中国家科学院院士3人)、中国科学院外籍院士1人,国家重点研发计划首席科学家9位、国家重大专项副总设计师2人、国家重大专项总体专家组成员9人、全国创新争先奖状2人、何梁何利基金科学与技术进步奖1人、中国青年科技奖(特别奖)1人、国家杰出青年基金获得者7人、国家优秀青年基金获得者4人、1个团队连续获得2项国家基金委创新研究群体支持、国家特支计划领军人才入选者6人、国家特支计划青年拔尖人才入选者5人……
中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)是我国建立最早、规模最大的激光专业研究所,成立于1964年,现已发展成为以探索现代光学重大基础及应用基础前沿研究、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。重...
上海光机所国际合作工作始终围绕上海光机所的主责主业,以服务重大任务和国家需求为牵引,强化目标导向,注重内外集成协同,加强重大国际合作任务的谋划。坚持“战略布局,需求牵引,技术引领,合作共赢”的原则,基于科技部授予的国家国际科技合作基地及本单位学科技术优势,围绕“一带一路”国家倡议,深化拓展与发达国家实质性合作,夯实海外机构建设,积极培育和发起国际大科学计划,加强国际组织任职推荐,组织相关国际会议等,汇聚各类国际人才,建立以“平台-人才-项目-组织”合作模式,融入全球创新合作网络,助力上海光机所成为国际一流科研机构。上海光机所国际合作一直得到所领导的高度重视,历届所长亲自主管国际合作。1972年,上海光机所接待诺贝尔奖的美籍华裔科学家杨振宁,标志着我所第一次对外开放。2007年,被科技部首批授予“科技部国际科技合作基地”。2016年,科技部首次对全国2006-2008年间认定的113家国际合作基地进行了评估,上海光机所获评“优秀”。2021年,科技部首次对全国719家国际合作基地进行了评估,上海光机所持续获评“ 优秀”。王岐山副主席到上海光机所视察时,对上海光机所近几年取得的系列科技成果,以及重大国际合作项目“中以高功...
作为我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所,和首批上海市科普教育基地之一,中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)在致力于科技创新的同时,十分重视科普工作。多年来,上海光机所借助科研院所强大的科普资源优势,围绕光学与激光科学技术,积极开展公众开放日、科普讲座、科技课堂、科普作品创...
6月6日上午,上海光机所第四十九期“清河之光”论坛在溢智厅举办。本次论坛邀请了上海集成电路研发中心伍强博士作题为“衍射极限附近的光刻工艺”的学术报告。上海光机所邹明副所长出席了报告会,所内科研人员和研究生积极参与了本期论坛并进行了学术交流。论坛由信息光学与光电技术实验室王向朝研究员主持。
自0.25微米之后,光刻工艺的分辨率接近了衍射极限。为了保持光刻工艺的性能,涌现出来很多新方法,例如离轴照明、化学放大型光刻胶、抗反射层、相移掩模、光学邻近效应校正、浸没式光刻、自由光瞳、负显影技术、多重图形技术、极紫外光刻等。伍强的报告以光刻工艺的性能需求为主线,理论结合实际,深入浅出地介绍现代光刻工艺的主要工艺与参数需求、光刻胶与抗反射层技术、光掩模技术、计算光刻技术、光学临近效应校正技术、多重图形技术、极紫外光刻/光源技术、浸没式光刻技术等几个关键方面。报告会上,伍强与多名与会人员进行了技术讨论,给了与会人员很大的启发。报告会后,伍强与本所参与相关任务研发的科研人员进行了热烈的学术讨论。
伍强博士,光刻技术资深专家,现任上海集成电路研发中心新型器件和材料实验室副主任,CSTIC中国国际半导体技术大会光刻分会副主席。1993年本科毕业于复旦大学物理系,1999年博士毕业于美国耶鲁大学物理系,2007~2009年担任CSTC中国国际半导体技术大会光刻分会主席。先后任职于美国IBM、我国华虹NEC电子有限公司、荷兰ASML光刻设备(中国)有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、中芯国际新技术研发有限公司,先后参与0.25微米、0.18微米、0.13微米、90纳米、65纳米、40纳米、28纳米、14纳米、10纳米等光刻技术研发,负责5纳米逻辑技术包括极紫外光刻技术的预研。共获得授权专利108项,包括美国专利22项。
“清河之光”论坛是由上海光机所主办的高层次学术交流活动,着眼于研讨本所相关科技领域以及交叉学科领域的最新前沿动态与发展趋势预测,旨在进一步活跃我所学术氛围,为我所科技人员提供良好的学习平台,鼓励学术交流,启迪和激发科技创新思维。论坛迄今已经举办了四十九期。(信息光学与光电技术实验室供稿)
报告现场(一)
报告现场(二)
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