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上海光机所知识创新工程试点工作简报

（第一五九期）

2005年4月25日

上海光机所承担的国家863计划项目“基于MOEMS无阻塞16×16
阵列光开关”通过现场测试和验收

    “基于MOEMS无阻塞16×16阵列光开关”项目是上海光机所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担的国家863计划项目。
    2005年3月4日，按照“十五”863计划新材料领域光电子主题项目管理办的要求，由任晓敏和江山等专家组成的现场测试专家组在石家庄中国电子科技集团公司第十三研究所对“MOEMS高速光开关技术研究”专题的两个项目举行了现场测试会。专家们认真地按照项目合同书中的每一项指标对光开关样品进行了测试，我所提供的光开关样品的指标达到了项目合同书中的要求。
    3月29日，863专家组在北京主持“MOEMS高速光开关研究”课题验收会，认真听取了“基于MOEMS无阻塞16×16阵列光开关”项目负责人的汇报，审查了有关研制报告、技术报告、测试报告等材料，讨论认为：课题组全面完成了合同任务，一致通过该项目的验收。
    “基于MOEMS无阻塞16×16阵列光开关”是基于“多路对多路无阻塞机械光开关”等多项专利技术，利用MEMS技术制备微电磁执行器，采取优化的Benes网络结构，以2×2和4×4光开关为基本单元，构成的16×16阵列光开关，具有运动部件少、可靠性高和稳定性强等特点。经中国科学院上海科技查新咨询中心查新检索确认，该项目所研制的16×16阵列光开关的性能指标达到了国际同类产品的先进指标，该课题研究成果具有新颖性。同时，该课题组在项目的研制过程中特别重视对16×16阵列光开关中2×2和4×4光开关器件的可靠性和稳定性工艺技术的深入研究，实现了2×2和4×4MEMES光开关系列，具备向产业化应用的工艺技术条件和能力。（科研管理处供稿）

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