专利
| 专利名称 | 专利类别 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|---|
| Multi field point aberration parallel metrology device and method for lithographic projection lens | 发明 | US14/984577 | 2015-12-30 |
| 点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法 | 发明 | CN201510982725.X | 2015-12-24 |
| 点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法 | 发明 | CN201510982270.1 | 2015-12-24 |
| 大能量反射式光衰减器 | 发明 | CN201510898112.8 | 2015-12-08 |
| 幅频调制信号的检测装置 | 发明 | CN201510896055.X | 2015-12-07 |
| 光学元件往复式转动机构 | 发明 | CN201510869639.8 | 2015-12-01 |
| 一种光学元件双向转动调整机构 | 实用新型 | CN201520983958.7 | 2015-12-01 |
| Prism beam expansion system | 发明 | US14/954580 | 2015-11-30 |
| 基于非下采样轮廓波变换的光学条纹图抑噪方法 | 发明 | CN201510862296.2 | 2015-11-30 |
| 光学条纹图背景光成分抑制方法 | 发明 | CN201510862274.6 | 2015-11-30 |
| Prism beam expansion system | 发明 | US14/954580 | 2015-11-30 |
| 预—主激光脉冲光纤集成调节装置 | 发明 | CN201510834658.7 | 2015-11-25 |
| 多普勒频移鉴频器 | 发明 | CN201510834473.6 | 2015-11-25 |
| 机载分频激光三维成像装置及其成像方法 | 发明 | CN201510834455.8 | 2015-11-25 |
| Method for producing infrared ZnS domes | 发明 | US14/949801 | 2015-11-23 |
| Method for producing infrared ZnS domes | 发明 | US14/949801 | 2015-11-23 |
| 光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 | 发明 | CN201510777170.5 | 2015-11-12 |
| 大动态范围光学分视场探测激光雷达 | 发明 | CN201510772653.6 | 2015-11-12 |
| KDP类晶体生长的载晶架 | 发明 | CN201510762023.0 | 2015-11-10 |
| 可调谐窄线宽半导体激光器 | 发明 | CN201510764390.4 | 2015-11-10 |